| محل منبع: | چین |
|---|---|
| نام تجاری: | BAXIT |
| گواهی: | CE |
| شماره مدل: | BXT-MPCVD |
| مقدار حداقل تعداد سفارش: | 1 (حداقل سفارش) |
| قیمت: | USD149080- 150000Set|1 Set/Sets(Min. Order) |
| زمان تحویل: | 5-8 روز کاری |
| شرایط پرداخت: | L/C، T/T، D/A، D/P |
| قابلیت ارائه: | 5 |
| فرکانس کاری: | 2450 مگاهرتز | توان خروجی: | 0.1 ~ 6 کیلو وات قابل تنظیم مداوم |
|---|---|---|---|
| پایداری قدرت: | بهتر از %1± (@ وضعیت رتبه‌بندی شده) | رابط موجبر خروجی: | BJ-26/22 با فلنج استاندارد FD-26/22 |
| ورودی برق: | 380VAC/50Hz، 3 فاز 5 سیم، 11 کیلو وات | جریان آب خنک کننده: | 18 لیتر در دقیقه |
| ضریب موج ایستاده سیستم: | VSWR ≤ 1.5 | نشتی مایکروویو: | مطابق با استانداردهای ملی |
| اندازه و حالت کار: | حالت Φ200 x 300 (H) TM |
| ژنراتور و سیستم مایکروویو | فرکانس کاری | 2450 مگاهرتز |
| توان خروجی | 0.1 ~ 6 کیلو وات قابل تنظیم مداوم | |
| پایداری قدرت | بهتر از %1± (@ وضعیت رتبه‌بندی شده) | |
| رابط موجبر خروجی | BJ-26/22 با فلنج استاندارد FD-26/22 | |
| ورودی برق | 380VAC/50Hz، 3 فاز 5 سیم، 11 کیلو وات | |
| جریان آب خنک کننده | 18 لیتر در دقیقه | |
| ضریب موج ایستاده سیستم | VSWR ≤ 1.5 | |
| نشتی مایکروویو | مطابق با استانداردهای ملی | |
| محفظه تخلیه خلاء مایکروویو | اندازه و حالت کار | حالت Φ200 x 300 (H) TM |
| منطقه رسوب موثر | Φ50mm | |
| محدوده کنترل فشار | 0.5 کیلو پاسکال تا 30 کیلو پاسکال | |
| دقت کنترل فشار | ± 15Pa | |
| جذب خلاء | رشد تک کریستالی | نرخ رشد 10-15μm/H، ضخامت تک رشد ≥ 1.6mm |
| کیفیت تک کریستالی | تقریباً هیچ نقصی در زیر چشم غیر مسلح وجود ندارد | |
| سیستم خلاء | حالت انفجار | با N2 پر کنید |
| درجه خلاء نهایی | بهتر از 8×10-4Pa | |
| میزان نشت خلاء | ≤10-9 pA.m3/s | |
| افزایش فشار | میانگین افزایش فشار 24 ساعته کمتر از 1Pa/H است |
| سیستم جریان جرم گاز | دقت | 2%-100% FS، فشار ورودی 0.2-0.3 مگاپاسکال است |
| نوع و محدوده گاز | H2 (1SLM)، CH4 (100SCCM)، O2 (10SCCM)، N2 (20SCCM) | |
| نمونه سیستم مرحله | قطر مرحله نمونه | Φ60 میلی متر، آب خنک می شود. |
| محدوده تنظیم نمونه جدول |
0 ~ 15 میلی متر | |
| محدوده تنظیم صفحه حفره | 0 ~ 60 میلی متر | |
| اندازه گیری دمای بستر | اندازه گیری دمای مادون قرمز دامنه |
600 ~ 1200 ℃ (اندازه گیری دمای مادون قرمز) |
| دقت کنترل دما | دقت کنترل دما ± 5 ℃؛ | |
| کنترل محدوده دمای ثابت | اختلاف دمای هر نقطه از پلت فرم مولیبدن≤30℃ | |
| رابط دستگاه | آب ورودی و خروجی | سیم بیرونی G1 |
| اتصال گاز | سیم بیرونی 1/4 اینچ VCR | |
| رابط تخلیه اگزوز | سیم بیرونی 3/4 اینچ | |
| خط قدرت | TB4506 | |
| مقاومت عایق | ≥5MΩ | |
| قابلیت اطمینان | زمان کار مداوم و پایدار در شرایط عادی نباید کمتر از 24 ساعت باشد | |
| منبع تغذیه کل | 380 VAC ± 5٪ / 50 هرتز، 3 فاز 5 سیم، 13 کیلو وات | |
| کل آب خنک کننده | 34 لیتر در دقیقه، آب نرم تمیز، دمای آب ورودی 20 ± 5 ℃، فشار آب 0.2 ~ 0.4 مگا پاسکال است | |
| ابعاد | ~1.95 (L)x0.8 (W)x1.90 (H)m | |
